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Cz法晶體生長中的流動與傳熱

何評 俞昌銘

何評, 俞昌銘. Cz法晶體生長中的流動與傳熱[J]. 工程科學學報, 1993, 15(4): 358-363. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1993.04.008
引用本文: 何評, 俞昌銘. Cz法晶體生長中的流動與傳熱[J]. 工程科學學報, 1993, 15(4): 358-363. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1993.04.008
He Ping, Yu Changming. Heat Transfer and Fluid Flow during Crystal Growth of Cz Method[J]. Chinese Journal of Engineering, 1993, 15(4): 358-363. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1993.04.008
Citation: He Ping, Yu Changming. Heat Transfer and Fluid Flow during Crystal Growth of Cz Method[J]. Chinese Journal of Engineering, 1993, 15(4): 358-363. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1993.04.008

Cz法晶體生長中的流動與傳熱

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1993.04.008
詳細信息
    作者簡介:

    何評,男,30歲,副教授,碩士

Heat Transfer and Fluid Flow during Crystal Growth of Cz Method

  • 摘要: 本文針對Cz法晶體生長特點,通過數值模擬的方法,對Cz法生長砷化鎵單晶時從引晶、放肩、等徑至收尾這一完整工藝過程中晶體的溫度場、熔體的溫度場和速度場進行了計算,從中分析籽晶和坩堝的轉向、轉速等因素對流動和傳熱的影響,并與實際的砷化鎵單晶生長過程進行比較,從比較結果看,二者基本吻合。

     

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出版歷程
  • 收稿日期:  1992-09-03
  • 網絡出版日期:  2021-10-18

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